ワイヤ放電加工機(WEDM)
(蘇州ソデック三光機有限公社製 DK7725e)
 
  • 図の写真は、本研究に使用しているトランジスタスイッチング式電源装置を備えたワイヤ放電加工機(蘇州ソデック三光機有限公社製 DK7725e)でり,電流値が低く時間幅の長いパルスを発生させることができる.放電電流値を3〜22A,パルス幅5〜75μsまで変化させることが可能である.通常ワイヤ放電加工に用いられる電源装置では,時間幅が短く電流値の高いパルスであるが本電源装置ではそれとは全く異なるパルスを発生できるユニ−クなワイヤ放電加工機である.

  •  ワイヤ電極には比較的融点の高いモリブデンワイヤ(直径180μm)を用いており,ワイヤ走行速度が最高10m/sと非常に速く,一度加工に使用をドラムに巻き取ることにより繰り返し使用することが可能である.現在普及しているワイヤ放電加工機におけるワイヤ走行速度が0.3m/s程度であることと比較すると,本加工機のワイヤ速度が非常に速いことがわかります.また,インバ−タの周波数を変化させることによりワイヤ速度を任意に設定することが可能である.ワイヤ放電加工は、非接触で加工力がほとんど作用しないため加工面に発生するクラックが小さくなる。また、ワイヤを電極とする放電加工であるためカ−フロスも小さくなるものと考えられ、さらに加工液に脱イオン水を用いるため作業環境を改善できると考えられる。 
      本実験では,本加工機を用いてエピサブ用単結晶シリコンインゴットのスライシングを行い,加工速度や加工面粗さなどの加工特性について検討を行っている.