走査型電子顕微鏡
(SEM:Scanning Electron Microscope)

日本電子社製  JSM-5310LV


  • 左図の写真は走査型電子顕微鏡(SEM)であり,倍率を15倍200,000倍まで変えることができる優れた顕微鏡です本装置は真空排気から画像観察,フォーカス合わせなど写真撮影までの一連の操作を自動化し,デジタル処理された静止画像表示が標準装備されているため,操作性に優れています.また電子銃,電子工学系部を高真空に保ちながら,試料室は別排気系によって低真空に作動排気することにより,照射電子ビーム近傍のガス分子がイオン化されて試料表面に帯電した電荷を電気的に中和するため,非導電性試料でも無蒸着で観察することができます.本装置は,エネルギー分散型X線分析装置を同時装着することもできる,形態観察から元素分析まで可能な多目的形の高性能走査型顕微鏡です.   

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