Quantel社製

Brilliant QスイッチNd:YAGレーザ

 

この装置の特徴は,波長1064nm(近赤外線),532nm(可視光 緑),355nm(紫外線),266nm(紫外線),213nm(紫外線)の5種類のレーザ光を出力できることである. Nd:YAGレーザは基本波として波長1064nmのレーザ光を出射するが,この光を非線形光学結晶を含む高調波ユニットに通過させることで,他の4種類の波長が得られる.

 左の写真はYAGレーザの発振器で,ここから波長1064nmの基本波が発射される.この発振器の先端に,目的の波長に相当する高調波ユニットを取り付けることで,基本波長1064nmのレーザは,半分(532nm),3分の1(355nm),4分の1(266nm),5分の1(213nm)の各波長を持つレーザ光(高調波)に変換される.

基本波から高調波に変換する過程でエネルギーをロスするが,高調波を使用すれば,出力されるレーザエネルギーのうち,被加工物に吸収されるエネルギーの割合を上げられるというメリットがある.最も吸収率の良い波長は物質ごとに決まっているので,上記の5つの波長の中からそれに近い波長を選択して加工を行えば,効率のよい加工ができる.

発振器の主な仕様を下に示す.

 

 

 

 

 

Specifications of Nd:YAG laser

Wave length (nm)

1064

532

355

266

213

Max. pulse energy  (mJ/P)

350

160

70

30

5

Max average power (W)

7.0

3.2

1.4

0.6

0.1

Pulse duration  (ns)

5

4

4

4

4

Pulse frequency  (Hz)

20

Rod size

φ6×115mm