レーザ顕微鏡
(Laser Microscope)


 右の写真がLasertec(株)社製のブルーレーザ顕微鏡(VL2000D)で、左側が除振台の上に設置された測定部,右側上が制御用PC,右下部がコントロールユニットとなっています.光源には日亜化学工業(株)社製のブルーレーザダイオード(波長410nm)を用いており、最大解像度0.15umです。オプションとしてワーキングディスタンスを大きく変化できる可動式ヘッドおよびオートステージを備えています。
 レーザ顕微鏡では輝度が最大となる点を測定していくことにより測定全領域においてピントが合った像が得られ、かつ3次元位置情報も得ることが出来ます。また、画像解析測定ソフト(SALT)と組み合わせることにより形状測定(長さ、高さ、面積、体積等)や表面粗さも測定可能です。しかし、測定に光を使用していることから反射率が安定しなかったり場所によって著しく異なる様な試料に対しては十分な測定が出来ないことがあります.