LD励起QスイッチYAG第2高調波レーザ
(Q-switched SHG YAG Laser pumped by LD)
Lee Laser社製,“LDP-15TQG”



 左図は本研究にて使用しているLD連続励起方式Nd:YAGレーザ発振器の写真である。また、その主な仕様は下記の通りである。
 本発振器は,ランプに換えて単色で発光効率のよいLDを励起光源として採用している.また装置内には内部循環水型の冷却系を採用しているため外部冷却配管が不要など,従来のランプ励起方式に比べ大幅な小型化・軽量化・省エネルギー化を実現している。
 発振器内ではLDによりYAGロッド内の活性イオンNd3+を光励起することにより,ロッド内では反転分布状態が生じる。ここで光増幅作用が生じ,2枚の共振器鏡による光学的フィードバック作用が相まってレーザ発振が起こる。通常,この発振器はレーザ光を波長1064nmの連続として出力するが,発振器内の音響光学素子により,パルス幅が短く尖頭値の高いパルスレーザを出力できる.また、アパーチャによりシングルモードの設定でき,エキスパンダーでレーザ光を2,4,8倍と拡大することが可能である.
下記の表に本発振器の仕様を示す。
 本研究ではこの発振器を用いて,近年微細穴加工の需要が急増している超高硬度材料に対して高アスペクト比かつ高精度の微細穴のあける方式について検討していく。
 現在は第2高調波の仕様に変更して使用しています。