エキシマレーザ加工機

 

 上の写真は、エキシマレーザ加工機です。
本実験では発振波長248nmのKrFエキシマレーザを使用しています。
表1には発振器の仕様を示しています。


エキシマとは?

ガスの組み合わせによる波長の違い