EPMA with EDS
(Electron Probe Micro Analyzer)

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社製 ISIS3.1(L300)


  • 左図はエネルギー分散型EPMAと呼ばれる分析装置である.エネルギー分散型はEDSと呼ばれており.このX線から観察領域を構成する元素の同定(定性分析)を,その強度から量を知ることが(定量分析)できる.また,ある特定のピークに着目し,その強度を電子線の走査に同期して2次元的にプロットすれば,元素分布像(X線マッピング像)が得られる.さらに電子線を面ではなく,直線状を走査しそれに同期して線の強度分布を表せば,試料のある線上の元素濃度のヒストグラム(X線ラインスキャン分析)を得ることができる.
  • 定性分析:分析対象の試料がどのような元素から構成されているか同定すること
  • 定量分析:分析対象の試料を構成している各元素がどのくらいの濃度で存在しているかを調べること
  • X線マッピング:指定されたX線エネルギーレンジからのX線信号を使ってイメージを形成することにより,試料上のある特定元素の分布を調べること 
  • X線ラインスキャン:イメージの任意の線上における元素強度を調べること 

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