オートカーボンコーター
(Auto Carbon Coater)


 右の写真が日本電子データム(株)社製のオートカーボンコーター本体(JEC-530)です.真空引きするためにロータリーポンプ(ULVAC GHD-030)が付属しています.主に走査電子顕微鏡,X線マイクロアナライザ等の試料作製に使用します.生物,鉱物などの非導電性試料へのカーボンコーティングを短時間で能率良く行うことができます.しかし,蒸着時に熱が発生するため,耐熱性の著しく低い試料は変形をともなうことがあります.