リニアワイヤ放電加工機(WEDM)
(ソディック AQ550L)
  • 左図の写真は、本研究に使用しているワイヤ放電加工機(ソディック)である.本加工機は,極間距離を高応答速度で高精度に制御するために,XYテ−ブルがリニアモ−タ駆動であることが特長である.また,ワイヤを直径0.15〜0.3mm以上の範囲において取り扱え,最大200mm/s以上のワイヤの走行が行える.さらにU軸,V軸があり,工作物厚さ150mmに対し,±20°のテ−パ加工が行えることも大きな特長である.最小駆動単位は0.1μm以下であり,非常に高精度に駆動できる.
  • 電源部に関しては,放電発生回路方式はパワ−トランジスタパルス回路であり,最大加工電流は40A以上である.

  •  ワイヤ放電加工は、非接触で加工力がほとんど作用しないため加工面に発生するクラックが小さくなる。また、ワイヤを電極とする放電加工であるためカ−フロスも小さくなるものと考えられ、さらに加工 液に脱イオン水を用いるため作業環境を改善できると考えられる。 
     そこで本実験では,本加工機を用いエピサブ用単結晶シリコンインゴットのスライシングを行い,加工速度や加工面粗さなどの加工特性について検討を行っている.